SEM－EDS

型 号 SEM：JSM－5600LV； EDS：IE 300 X

国别厂家 SEM：日本JEOL；EDS：英国Oxford

购置日期 SEM：2001年 EDS：2005年

金 额 157.31万

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技术指标

1.SEM：高真空分辨率3.5nm，低真空分辨率4.5nm；

2. SEM: 放大倍数范围18～300,000；

3. EDS：Mn的K_α处的分辨率优于132eV；可测元素范围⁴Be～⁹²U。

主要用途

1.固体样品表面微区形貌观察；

2.材料断口形貌及其内部结构分析；

3.微粒或纤维形状观察及其尺寸分析；

4.固体样品表面微区成分的定性和半定量分析。

主要配置

SEM：二次电子探测器，背散射电子探测器；

EDS：Si(Li)超薄窗；X射线探测器，全数字化脉冲处理器；喷金仪，喷碳仪。

使用部门 分析测试中心

存放地址 松江校区5号学院楼B122

联 系 人 王文强