设备名称

中文

等离子体刻蚀系统

型号

英文

非标

国别及厂家

中国 常熟市虞华真空设备科技有限公司

购置日期

2014/09

技术指标

(按顺序排列)

功能/应用范围

(30字以内)

主要附件

设备负责人

存放地点

二号学院楼141室

设备管理人

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E-mail

办公地点

收费标准

样品制备要求

可供机时参考

备注