产品名称

HD-300型（立式）

反应室（耐高温石英玻璃筒）

控制柜体积

600×600×1600

真空柜体积

600×600×800

直径

Φ300mm（18升）

高度

不低于300mm

工作室外罩

不锈钢屏蔽

真空系统

本底真空度

≤   3 Pa

真空泵

莱宝D16C双极旋片泵

效率高噪音小体积小

内置真空截止磁阀

二个

高道流不锈钢管路

双卡箍接口

放气阀门

ZG-685C，加装空气过滤器

充气系统

双气体配置（德国技术玻璃转子流量计）

咸丰DK800，二个

高精度手动截止阀

七星华创SJ1R型，三个

单体入口（供接枝用）

一个

真空测量系统

正华压强自动控制仪（ZDMC-I-LED）

精度高响应快操作方便

Z J - 1C电容规

真空度测量范围:5   0 0 0 P a～5 P a

准确度(精度):±1 Pa

比例电磁阀型:Z   D T - 2

进气体形式

前端上位

特点（充分扩散）

控制器

PLC，自动控制

人机交互界面

触摸屏

PC电脑，自动控制

接枝器件（含恒温水浴锅）

一套

瑞思杰尔RSG500

射频电源（COMS固态电源）

(13.56MHz,   0-500W)

一台

内置过压，过流，

过热和驻报警保护；

具有手动操控和计算机远程控制两种模式

输出形式

双输出，自行设计，产生位移电流提高工作效率

工作真空度

10-100Pa

自动匹配网络

一台

380V±10%

功率：3KW