设备名称

中文

扫描电子显微镜

型号

英文

Scanning   electron microscope

vega   3 lmu

国别及厂家

捷克、TESCAN

购置日期

2015.9.7

技术指标

(按顺序排列)

分辨率：二次电子3.0nm（30kV），背散射电子3.5nm（30kV）

放大倍数：5~30万倍

加速电压：0.3~30kV

样品室低真空度范围：6~270帕

样品台：五轴马达全自动样品台

功能/应用范围

(30字以内)

用于固体材料（主要是金属、半导体、岩石及生物样品等）的表面形貌观察。其分辨率可以达到纳米级，即可以得到几万倍的固体表面精细的微观图像。

主要附件

空压机（YH-04）

离子溅射仪（SBC-12）

设备负责人

王先锋

存放地点

电工实验楼113

设备管理人

张猛

联系电话

18800235881

E-mail

zhangmeng19891216@163.com

办公地点

东华大学延安西路校区现代纺织研究院203室

收费标准

50元/个

样品制备要求

严禁磁性样品

可供机时参考

备注

无