设备名称

中文

台阶仪

型号

英文

SURFCORDER

ET150

国别及厂家

日本、KOSAKA LABORATORY LTD

购置日期

201609

技术指标

(按顺序排列)

测定工件：最大工件尺寸直径160mm，厚度50mm，重量2Kg；检出器：Z方向测定范围最大600μm，分辨率0.1nm，测定力1~50mg，探针半径2μm，再现性0.2nm；X轴：移动量100mm，移动真值度0.2μm/100mm，移动、测定速度0.005~20mm/s，线性尺分解能0.1μm；Z轴：移动量50mm，移动速度最大2mm/s，位置决定分解能0.1μm，线性度-0.25%~+0.25%

功能/应用范围

(30字以内)

表征薄膜材料的厚度、表面粗糙度等形貌特征

主要附件

VIW-M-0605隔振台、DA5001/4C压缩机

设备负责人

张坤

存放地点

综合实验楼135

设备管理人

张坤

联系电话

15618324099

E-mail

kun.zhang@dhu.edu.cn

办公地点

三号学院楼2018

收费标准

样品制备要求

可供机时参考

备注