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设备编号 S1601926 设备名称 管状直流尘埃等离子体真空反应腔
设备编号 20143403 设备名称 等离子体刻蚀系统
设备编号 20131124 设备名称 傅立叶红外光谱仪
设备编号 20133847 设备名称 功率放大器
设备编号 20133690 设备名称 气质联用仪
设备编号 20133689 设备名称 红外摄像仪
设备编号 20102352 设备名称 等离子体原子层沉积设备
设备编号 20110703 设备名称 单双面光刻机
设备编号 20110423 设备名称 高速摄像机
设备编号 20110422 设备名称 等离子体质量和能量分析仪
设备编号 20105672 设备名称 光谱分析仪
设备编号 20105671 设备名称 台式扫描电镜
设备编号 20105186 设备名称 三维视频显微镜
设备编号 20105533 设备名称 光纤光栅解调仪
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