高精度椭圆偏振光谱仪

High Precision Ellipsomter

型 号 Ellipso-SR

国别厂家 中国 上海光明企业发展有限公司

购置日期 2009年

金 额

技术指标 1.波长范围：250-830 nm

2.光子能量：1.5-5.0eV

3.波长分辨率：1.0 nm(0.6 nm典型宽带)

4.入射角范围： 20-90度连续变化

5.入射角控制精度：0.001^o/脉冲

6.信号检测模式： A/D高速采样

7.测量方式：自动完成AC信号测量

8.数据处理方式：傅立叶变换

主要用途 实测光学常数种类：复折射率(n, k)；复介电常数(ε₁，ε₂)；吸收系数；反射率R；测量薄膜

材料的折射率和厚度。

主要附件 显微镜

使用部门 材料科学实验室

存放地址 松江校区5号学院楼A544

联 系 人 徐洪耀 苏新艳