设备名称

中文

轮廓仪

型号

英文

Profiler

NT9100

国别及厂家

Veeco, USA

购置日期

2010/8/19

设备照片

技术指标

垂直测量范围0.1 nm-~10 mm；

分辨率<0.1 nm；

Rms 重复率0.05 nm

功能/应用范围

非接触试测量，食用油三维形貌，表面膜厚等

主要附件

8微米标准块，SiC参比镜，20倍和5倍物镜

设备负责人

张青红

存放地点

材料学院A区317