低温等离子体处理仪
型 号 HD-300
国别厂家 中国常州中科常泰等离子体科技有限公司
购置日期 2015年
金 额 19.8万
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技术指标
产品名称 | HD-300型（立式） | |
反应室（耐高温石英玻璃筒） | 控制柜体积 | 600×600×1600 |
真空柜体积 | 600×600×800 | |
直径 | Φ300mm（18升） | |
高度 | 不低于300mm | |
工作室外罩 | 不锈钢屏蔽 | |
真空系统 | 本底真空度 | ≤ 3 Pa |
真空泵 | 莱宝D16C双极旋片泵 效率高噪音小体积小 | |
内置真空截止磁阀 | 二个 | |
高道流不锈钢管路 | 双卡箍接口 | |
放气阀门 | ZG-685C，加装空气过滤器 | |
充气系统 | 双气体配置（德国技术玻璃转子流量计） | 咸丰DK800，二个 |
高精度手动截止阀 | 七星华创SJ1R型，三个 | |
单体入口（供接枝用） | 一个 | |
真空测量系统 | 正华压强自动控制仪（ZDMC-I-LED） 精度高响应快操作方便 | Z J - 1C电容规 |
真空度测量范围:5 0 0 0 P a～5 P a | ||
准确度(精度):±1 Pa | ||
比例电磁阀型:Z D T - 2 | ||
进气体形式 | 前端上位 | 特点（充分扩散） |
控制器 | PLC，自动控制 | |
人机交互界面 | 触摸屏 | |
PC电脑，自动控制 | ||
接枝器件（含恒温水浴锅） | 一套 | |
瑞思杰尔RSG500 射频电源（COMS固态电源） | (13.56MHz, 0-500W) 一台 | |
内置过压，过流， 过热和驻报警保护； 具有手动操控和计算机远程控制两种模式 | ||
输出形式 | 双输出，自行设计，产生位移电流提高工作效率 | |
工作真空度 | 10-100Pa | |
自动匹配网络 | 一台 | |
380V±10% | 功率：3KW | |
主要用途
用于对材料表面进行改性、接枝、沉积等。
主要附件
载物台（直径8ｃｍ）、水浴锅
使用部门 纺织学院实验中心
存放地址 纺织学院楼 1015室
联 系 人 林婧