设备名称 | 中文 | 扫描电子显微镜 | 型号 | ||
英文 | Scanning electron microscope | vega 3 lmu | |||
国别及厂家 | 捷克、TESCAN | 购置日期 | 2015.9.7 | ||
技术指标 (按顺序排列) | 分辨率:二次电子3.0nm(30kV),背散射电子3.5nm(30kV) 放大倍数:5~30万倍 加速电压:0.3~30kV 样品室低真空度范围:6~270帕 样品台:五轴马达全自动样品台 | ||||
功能/应用范围 (30字以内) | 用于固体材料(主要是金属、半导体、岩石及生物样品等)的表面形貌观察。其分辨率可以达到纳米级,即可以得到几万倍的固体表面精细的微观图像。 | ||||
主要附件 | 空压机(YH-04) 离子溅射仪(SBC-12) | ||||
设备负责人 | 王先锋 | 存放地点 | 电工实验楼113 | ||
设备管理人 | 张猛 | 联系电话 | 18800235881 | ||
zhangmeng19891216@163.com | 办公地点 | 东华大学延安西路校区现代纺织研究院203室 | |||
收费标准 | 样品制备要求 | 严禁磁性样品 | |||
可供机时参考 |
| 备注 | 无 |