设备名称

中文

热蒸发镀膜机

型号

英文

Thermal Evaporator System

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国别及厂家

美国orial

购置日期

201601

技术指标

(按顺序排列)

（1）系统组成：主要由台架、真空室、抽气系统、真空检测、电控系统。

（2）蒸发源多套。蒸发源配1台一带二1000W可控硅调压电源，通过铜电极连接，两端可夹钨绞丝或者钽舟，钨绞丝可以蒸镀丝状或者大颗粒材料，钽舟可以蒸镀粉末状材料，蒸镀源采用陶瓷全密封，避免交叉污染；

（3）样品台具有旋转、升降功能，掩模板与样品无间隙贴合，配有1套样品架，样品与蒸发源之间的间距为200-300mm；

（4）镀膜室配石英晶振膜厚监测仪进行薄膜厚度监测，并配备1个石英晶振探头。膜厚仪厚度分辨率1pm，速率分辨率1pm/s；

（5）真空系统：采用分子泵+机械泵真空系统。分子泵抽速600L/S；直联旋片机械泵，抽速8L/S；配高CF150真空挡板阀；

（6）整套机组配有水压检测、缺相保护、误操作保护等功能；

（7）整套系统操作均由PLC及液晶触摸屏控制。

（8）供电：～380V三相供电系统（容量10KW）；供水：冷却水循环量0.3M3/H，冷却水温度15℃～20℃；工作环境温度：10℃～40℃

功能/应用范围

(30字以内)

新型能源器件的封装以及其他电子器件的组装

主要附件

无

设备负责人

侯成义

存放地点

A514

设备管理人

郭煦然

联系电话

67792676

E-mail

hcy@dhu.edu.cn

办公地点

C230

收费标准

样品制备要求

可供机时参考

备注