设备名称 | 中文 | 热蒸发镀膜机 | 型号 | ||
英文 | Thermal Evaporator System | * | |||
国别及厂家 | 美国orial | 购置日期 | 201601 | ||
技术指标 (按顺序排列) | （1）系统组成：主要由台架、真空室、抽气系统、真空检测、电控系统。 （2）蒸发源多套。蒸发源配1台一带二1000W可控硅调压电源，通过铜电极连接，两端可夹钨绞丝或者钽舟，钨绞丝可以蒸镀丝状或者大颗粒材料，钽舟可以蒸镀粉末状材料，蒸镀源采用陶瓷全密封，避免交叉污染； （3）样品台具有旋转、升降功能，掩模板与样品无间隙贴合，配有1套样品架，样品与蒸发源之间的间距为200-300mm； （4）镀膜室配石英晶振膜厚监测仪进行薄膜厚度监测，并配备1个石英晶振探头。膜厚仪厚度分辨率1pm，速率分辨率1pm/s； （5）真空系统：采用分子泵+机械泵真空系统。分子泵抽速600L/S；直联旋片机械泵，抽速8L/S；配高CF150真空挡板阀； （7）整套系统操作均由PLC及液晶触摸屏控制。 （8）供电：～380V三相供电系统（容量10KW）；供水：冷却水循环量0.3M3/H，冷却水温度15℃～20℃；工作环境温度：10℃～40℃ | ||||
功能/应用范围 (30字以内) | 新型能源器件的封装以及其他电子器件的组装 | ||||
主要附件 | 无 | ||||
设备负责人 | 侯成义 | 存放地点 | A514 | ||
设备管理人 | 郭煦然 | 联系电话 | 67792676 | ||
hcy@dhu.edu.cn | 办公地点 | C230 | |||
收费标准 |
| 样品制备要求 |
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可供机时参考 |
| 备注 |
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