设备名称 | 中文 | 台阶仪 | 型号 | ||
英文 | SURFCORDER | ET150 | |||
国别及厂家 | 日本、KOSAKA LABORATORY LTD | 购置日期 | 201609 | ||
技术指标 (按顺序排列) | 测定工件:最大工件尺寸直径160mm,厚度50mm,重量2Kg;检出器:Z方向测定范围最大600μm,分辨率0.1nm,测定力1~50mg,探针半径2μm,再现性0.2nm;X轴:移动量100mm,移动真值度0.2μm/100mm,移动、测定速度0.005~20mm/s,线性尺分解能0.1μm;Z轴:移动量50mm,移动速度最大2mm/s,位置决定分解能0.1μm,线性度-0.25%~+0.25% | ||||
功能/应用范围 (30字以内) | 表征薄膜材料的厚度、表面粗糙度等形貌特征 | ||||
主要附件 | VIW-M-0605隔振台、DA5001/4C压缩机 | ||||
设备负责人 | 张坤 | 存放地点 | 综合实验楼135 | ||
设备管理人 | 张坤 | 联系电话 | 15618324099 | ||
kun.zhang@dhu.edu.cn | 办公地点 | 三号学院楼2018 | |||
收费标准 |
| 样品制备要求 |
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可供机时参考 |
| 备注 |
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